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天眼查App顯示，上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司于2023年6月30日申請(qǐng)了一項(xiàng)名為“一種清洗液的制備方法”的發(fā)明專(zhuān)利，并于2024年12月31日正式公開(kāi)。該專(zhuān)利由王溯、蔣闖、馮強(qiáng)強(qiáng)、于仙仙、張怡、王瑋、程鑫共同發(fā)明，專(zhuān)利號(hào)為CN202310795351.5。

該清洗液的制備方法包括將氧化劑、胺類(lèi)有機(jī)物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑以及水按特定比例混合。其中，胺類(lèi)有機(jī)物為氮烷基氫氧化銨和/或醇胺，螯合劑為未取代或被一個(gè)或多個(gè)C1-C4烷基取代的n乙烯m胺、多乙烯多胺和含氮有機(jī)酸中的一種或多種，表面活性劑為聚醚酰亞胺和/或聚乙酸乙烯酯。該清洗液不含氟化銨和金屬離子，具有較佳的清洗效果和腐蝕效果。

上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司位于上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)，此次發(fā)明的清洗液制備方法有望在半導(dǎo)體材料清洗領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，提升清洗效率和環(huán)保性能。

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